基于VirtualLab Fusion的光学检测与精密成像（光学检测、精密成像、显微镜系统）
课程时长：2天/城市
授课地点：上海
本课程聚焦于利用VirtualLab Fusion先进的光之数字模型平台，解决光学检测与精密成像系统的核心设计挑战。课程将系统进解如何对干涉仪、光谱仪等光学检测系统进行高精度建模与性能评估:深入探讨精密成像系统(如晶圆检测、高NA镜头)的像质优化;并专门涵盖显微镜系统(包括荧光、共聚焦及超分辨显微技术)的完整物理光学仿真，以研究行射极限、三维成像特性及荧光处理等关键问题。通过结合理论讲解与软件实战，学员将掌握从宏观检测到微观成像的一体化软件开发能力。
- VirtualLab Fusion光之数字模型平台
- 光之数字模型平台在精密系统检测方面的工作原理
- VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作
- VirtualLab Fusion中非序列追迹的通道配置
- 典型光学检测系统建模与性能验证
- 基础迈克尔逊干涉仪建模仿真
- OCT系统仿真-光学相干层析扫描干涉仪
- 用于光学表面测量的菲索干涉仪
- 切尔尼-特纳光谱仪的仿真
- Mirau干涉仪系统分析-显微干涉检测
- 高端精密成像系统（半导体 / 工业检测方向）
- 半导体晶圆微结构缺陷检测光学系统
- 晶圆两侧光栅图案的成像
- 激光共聚焦扫描显微镜成像分析
- 大数值孔径聚焦中的粒子散射与反射
- 晶圆多层膜厚非接触式光学测量仿真
- 先进显微镜系统的物理光学级仿真
- 显微镜系统的设计
- 通过瑞利判据对显微镜物镜进行分辨率研究
- 荧光显微镜的彩色效应分析
- 高NA傅里叶显微镜单分子成像
- 高NA显微镜系统分析偶极子源的PSF
- 显微镜系统中来自光圈的衍射
- 光学系统的公差分析
- 考虑加工公差下的倾斜光栅鲁棒性优化
- 镜头粗糙度对PSF的影响
- 衍射光学元件的加工圆角和高度公差分析
