news 2026/6/10 0:53:50

InP基1310 nm激光器的核心——多量子阱

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张小明

前端开发工程师

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InP基1310 nm激光器的核心——多量子阱

对于InP基 1310 nm 半导体激光器,其多量子阱有源区的材料选择非常经典和成熟。其核心是利用四元化合物 InGaAsP,通过精确调节 In、Ga、As、P 四种元素的组分比例,来同时满足发光波长晶格匹配的双重要求。

下图展示了该激光器的典型材料结构:

以下是各层材料的详细说明:

1. 势阱层

  • 材料In<sub>x</sub>Ga<sub>1-x</sub>As<sub>y</sub>P<sub>1-y</sub>

  • 设计要求

    • 发光波长: 为了实现1310 nm的光发射,势阱材料的带隙对应的发光波长(体材料时)通常在1500 - 1600 nm范围。量子限制效应(电子和空穴被限制在阱内,能级分立)会使有效带隙蓝移,从而将发射波长拉到目标值1310 nm。

    • 晶格匹配/应变: 为了获得更好的性能(如降低阈值电流、提高微分增益),现代激光器通常采用压应变异质结。即势阱层的晶格常数略大于InP衬底(约+1%的压应变)。这种应变可以改善能带结构,降低价带有效质量,增强辐射复合效率。

  • 典型参数: In组分(x)约为0.53-0.57, As组分(y)相应调整,以保证实现目标带隙和应变。阱层厚度很薄,通常在5 - 7 nm左右。

2. 势垒层

  • 材料In<sub>x</sub>Ga<sub>1-x</sub>As<sub>y</sub>P<sub>1-y</sub>

  • 设计要求

    • 带隙: 势垒层的带隙必须明显大于势阱层,以形成足够的势垒高度,有效限制载流子。其对应的波长(体材料时)通常在1100 - 1200 nm(即1.1-1.2 μm)范围。

    • 晶格匹配/应变: 在采用应变补偿设计时,势垒层常被设计为具有张应变,即其晶格常数略小于InP衬底。这样,一个“压应变”的阱和一个“张应变”的垒交替生长,两者的应变可以部分抵消,使得整个多量子阱区域的平均晶格常数仍然与InP衬底完美匹配,从而避免产生位错,允许生长更多周期的量子阱。

  • 典型参数: In组分(x)约为0.7-0.8, As组分(y)相应调整。垒层厚度通常在8 - 12 nm左右。

3. 关键设计思想:应变补偿

如上图所示,1310nm激光器多量子阱设计的精髓在于应变补偿。通过精心计算阱和垒的组分、厚度和应变大小,使得:
(阱的压应变 × 阱厚) + (垒的张应变 × 垒厚) ≈ 0
这样,整个多层有源区结构对外表现出的平均晶格常数与InP衬底一致,实现了完美的“应变补偿”,保证了晶体质量。

4. 对比:包层/波导层材料

为了完整性,与有源区相邻的层通常是:

  • 波导层/限制层: 也使用InGaAsP,但其带隙比量子垒更宽(对应波长约为1.05 - 1.3 μm),并且严格晶格匹配于InP(无净应变)。它的作用是进一步将光场限制在有源区附近,同时帮助载流子限制。

  • 包层: 通常是InP(晶格完美匹配)或带隙更宽的晶格匹配InGaAsP。它们的主要作用是提供折射率差以实现光波导,以及电势垒以限制载流子。

总结

层别材料体系关键作用应变状态 (相对InP)带隙对应波长 (典型)
势阱InGaAsP发光、限制载流子压应变(+~1%)~1.55 μm
势垒InGaAsP隔离量子阱、补偿应变张应变(-~0.5%)~1.15 μm
波导层InGaAsP限制光场和载流子晶格匹配(0应变)~1.2 μm
包层InP 或 InGaAsP光学波导、电学限制晶格匹配(0应变)~0.95 μm (InP)

因此,InP基1310 nm激光器的核心——多量子阱,是由不同组分的InGaAsP材料构成的应变补偿结构,通过四元合金组分的灵活调节,实现了性能与可靠性的最佳平衡。

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