news 2026/6/10 1:03:47

面向高算力芯片的高热流密度冷却技术

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张小明

前端开发工程师

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面向高算力芯片的高热流密度冷却技术

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211、985硕士,职场15年+

从事结构设计、热设计、售前、产品设计、项目管理等工作,涉足消费电子、新能源、医疗设备、制药信息化、核工业等领域

涵盖新能源车载与非车载系统、医疗设备软硬件、智能工厂等业务,带领团队进行多个0-1的产品开发,并推广到多个企业客户现场落地实施。

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一、散热设计创新

1. 换热路径创新:冷却系统嵌入封装
  • 核心理念:传统远端冷却方案热阻过高,需将换热环节直接嵌入封装内部(第9页)。
  • 技术方案
    • 封装Lid内嵌硅基微流道:采用12吋晶圆级热压键合制造微流道(厚度1mm),结合金属歧管实现近芯片冷却(第12页)。
    • 双面微流道液冷:针对3D集成芯片,在封装内部双面集成微流道,增加导热通道与换热面(第14页)。
  • 性能提升
    • 在150W/cm²热流密度下,芯片最大温差仅6.3℃;
    • 190W/cm²(总功耗1200W)时热阻低至27.1 mm²K/W,较传统方案降低34%(第13页)。
2. 材料与结构创新
  • 高导热界面材料
    使用铟焊料(厚度60μm)降低传导热阻,仿真显示热阻减少9.6 mm²K/W(第13页)。
  • 超浸润材料相变散热
    通过高疏水多孔膜实现气泡快速驱离,解决相变失稳问题,提升临界热流密度(CHF)(第16页)。
3. 集成工艺创新
  • 电-热融合集成
    • 采用溅射介质与电镀金属实现流道密封;
    • 开发干法/湿法工艺扩槽技术,实现多层级流道互通(第14页)。
  • 热沉粒方案
    优化材料与结构设计(如kovar基方案),降低翘曲和TIM厚度,提升水密性(第15页)。

二、关键技术瓶颈

1. 电-热集成工艺挑战
  • 密封可靠性
    封装内多层级流道需保证长期水密性,电镀方案需与现有封装工艺兼容(第14页)。
  • 结构应力
    复杂流道结构导致应力集中(仿真显示峰值达234MPa),接近硅断裂强度(400MPa),需优化材料与几何设计(第15页)。
2. 热管理瓶颈
  • 热点问题
    3D集成导致功率密度倍增(热点~1kW/cm²),而热阻呈指数上升(第7页)。
  • 相变控制难点
    膜基液膜沸腾的CHF受控于膜透气性与干涸点,需定向设计多孔膜结构(第17页)。
3. 制造与可靠性
  • 翘曲与分层风险
    封装翘曲导致键合分层(尤其是双面液冷结构),需开发低应力材料(第15页)。
  • 耐压能力
    微流道需承受数据中心液冷板压力(0.1–0.3MPa),薄膜耐压设计是核心挑战(第14页)。

三、未来发展方向

  1. 工艺兼容性优化:开发与先进封装(如CoWoS、SoIC)兼容的微流道集成方案(第4、14页)。
  2. 多物理场协同设计:融合电、热、力仿真,解决3D集成中的应力集中与热耦合问题(第15页)。
  3. 相变散热技术深化:通过膜构效关系模型定向提升CHF,推动两相液冷实用化(第17页)。
  4. 测试验证工具:利用高分辨率热-应力测试芯片加速方案迭代(第11页)。

关键数据支持

  • 先进封装热阻占比超85%,是温升主因(第8页);
  • 2030年芯片TDP或达5kW,散热能力需指数级提升(第5页);
  • 近芯片冷却(ND)较远端冷却(RC)热阻显著降低(第10页)。

总结:3D封装散热的核心创新在于将冷却系统嵌入封装内部,通过微流道、双面液冷及超浸润材料突破热阻瓶颈;而电热集成工艺、热点管理与可靠性是当前主要瓶颈,需跨学科协同攻关。

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